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标题: 等离子清洗机原理 [打印本页]

作者: echo 时间: 2013-7-10 17:18
标题: 等离子清洗机原理

   等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理。辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大，影响另外与放电功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。这种等离子体有一些显著的特征：
   1 .气体产生辉光现象，常称为“辉光放电” 。由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响。
   2. 气体中包含中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子温度介于102 —103K，电子能量对应的温度高达105K ，它们被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”。但是它们却表现出电中性准中性。
   3. 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面不影响基体的性能。

   等离子体可以通过DC或高频AC电场产生。当采用AC时，只能选用电信规定的科研及工业用频段（中频MF40KHz、射频RF13.56MHz、微波频率MW2.45GHz）否则会干扰无线电通信。

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