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扩散制结设备—晶体硅太阳电池制造设备
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作者:
hbpencil
时间:
2013-12-16 10:56
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扩散制结设备—晶体硅太阳电池制造设备
2013-12-16 10:55 上传
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1.实物及结构
扩散制结设备主要由控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、起源部分4大部分组成。整机由计算机控制,各部分软、硬件连锁,工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行,自动化程度高、操作简便、可靠性高。
2.设备的维护与保养
扩散制结设备日常维护和保养包括以下几方面:
(1)设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。
(2)炉体保温方面,在隔一天以上的工艺之间,最好设定500~600℃保温,这样可延长加热器的使用寿命。
(3)恒温区的校准周期方面,炉子恒温去调好后,一般不是频繁连续工艺,可3个月校准一次,连续工艺要求1个月校准一次,关键工艺前必须先进行检查。
(4)设备长期不用时,每隔一星期应通电运行一次,防止器件受潮失效。
(5)更换已损坏的元器件时,应尽量采用规格、型号相同的器件。温控等关键器件不得采用代替品。
(6)石英炉门与浆的接触部分要定期进行清洗,防止由于工艺残留物堆积使得滑块不畅造成石英炉门损坏。
(7)超温保护要求每天进行工艺前试验一次,以确保超温保护系统的可靠运行。
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