据介绍,湖南红太阳研制出国内首台6000片产能的双面ITO磁控溅射镀膜设备,正在开发更高产能10000片/小时的PVD设备。该设备是一种带有载板回传装置的高效连续镀膜系统,专为高效异质结电池制造工艺中的透明导电膜(ITO)而设计,产能大、成本低、自动化程度高、操作维护方便。设备具有以下优势:
1、旋转磁控阴极均采用了从顶部安装的结构方式,简化了结构设计,降低了维护成本;
2、采用分体腔配双涡轮分子泵对称式布局设计,隔离旋转磁控阴极溅射工位,提高了ITO薄膜成膜质量;
3、采用多组加热器分区域控温方法、温控精度高,均匀性好;
4、采用自主设计的大载片量、小变形组合式载板,产能潜力更大,变形量可控;
5、模块化设计,可满足4000-10000片/时的不同产能的定制化需求。
湖南红太阳表示,PVD设备已实现销售,设备的各项指标可对标国际先进水平,沉积的ITO薄膜各项技术参数指标可满足客户生产的需要。
1. 大跨度旋转阴极设计,可调的高磁场强度、更低的电压,有利于减少损伤;
2. 独特的靶材冷却设计,可充分冷却靶材热源,避免冷热不均靶裂,工艺稳定性高;
3. 水冷辅助阳极,可吸收工艺过程中多余的电子,减少基片升温,降低溅射损伤;
4. 大载片量、小变形组合式载板,有助于提高片间膜厚均匀性;
5. 可满足多层膜的工艺需求,同时兼顾透过率和电导率,转换效率高。
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关于2020年异质结奖项申报
2、参评单位提供能辅佐参评自荐材料的证明文件、荣誉证书或专家意见;
3、最终评分结合专家评审(权重70-80%)与网络投票(权重20-30%),解释权归主办方所有。
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