电池异常排查指南
1、方阻整体偏高
原因：
①扩散温度偏低
②源量不够，不能足够掺杂
③源温较低于设置20度
④石英管饱和不够
⑤小氮流量设置偏低
⑥磷源液位不足
⑦工艺错误
⑧单向阀出现问题
⑨流量计异常
措施：
①升高扩散温度
②加大源量
③调整源温至20度，或通知设备维修
④查找饱和历史记录，根据具体情况重新加饱和石英管
⑤增大小氮流量
⑥更换磷源
⑦检查运行工艺是否正确，已经各工艺步时间是否正确
⑧检查单项阀是否异常，如有异常及时通知设备人员，并且停止生产
⑨通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
2、方阻整体偏低
原因：
①扩散温度偏高
②源温较高于20度
③小氮流量设置偏大
④更换磷源未降低温度
⑤流量计异常
措施：
①降低扩散温度
②调整源温至20度
③降低小氮流量
④降低工艺温度
⑤通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
3、扩散不到
原因：
①炉门没关紧
②尾气管抽风过大
③小氮流量过低，不能将磷源携带到管口部位
④磷源过少或用完
措施：
①通知设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合
②调整尾气抽风阀门，并调整平衡压力
③增大小氮流量
④更换磷源
4、片与片之间不均匀
原因：
①温区间升温功率异常（表现为两个温区间的硅片片与片方阻差异大）
措施：
①通知设备调整温区升温功率，并做温区自整定
5、单片方阻不均匀
原因：
①石英舟污染
②原材料电阻率不均匀
③石英舟舟凳在炉管内偏斜
措施：
①更换新石英舟，污染石英舟排入计划清洗
②反馈供应商
③一般为桨偏斜造成，通知设备调整桨对中性
6、背面滚轮印
原因：
①停机时间较长，药液挥发多
②制绒槽和碱槽滚轮脏
措施：
①手动补HF和HNO3
②清洗滚轮
7、相邻炉管同时电阻偏大或是偏小
原因：
①恒温槽出现问题
措施：
①检查恒温槽温度是否异常，如有异常及时通知设备人员
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来源：口袋光伏
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今日科普：市场上封装材料主要有透明EVA胶膜、白色EVA胶膜、聚烯烃（POE）胶膜、共挤型聚烯烃 POE（EVA-POE-EVA）胶膜与其他封装胶膜。
1、方阻整体偏高
原因：
①扩散温度偏低
②源量不够，不能足够掺杂
③源温较低于设置20度
④石英管饱和不够
⑤小氮流量设置偏低
⑥磷源液位不足
⑦工艺错误
⑧单向阀出现问题
⑨流量计异常
措施：
①升高扩散温度
②加大源量
③调整源温至20度，或通知设备维修
④查找饱和历史记录，根据具体情况重新加饱和石英管
⑤增大小氮流量
⑥更换磷源
⑦检查运行工艺是否正确，已经各工艺步时间是否正确
⑧检查单项阀是否异常，如有异常及时通知设备人员，并且停止生产
⑨通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
2、方阻整体偏低
原因：
①扩散温度偏高
②源温较高于20度
③小氮流量设置偏大
④更换磷源未降低温度
⑤流量计异常
措施：
①降低扩散温度
②调整源温至20度
③降低小氮流量
④降低工艺温度
⑤通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
3、扩散不到
原因：
①炉门没关紧
②尾气管抽风过大
③小氮流量过低，不能将磷源携带到管口部位
④磷源过少或用完
措施：
①通知设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合
②调整尾气抽风阀门，并调整平衡压力
③增大小氮流量
④更换磷源
4、片与片之间不均匀
原因：
①温区间升温功率异常（表现为两个温区间的硅片片与片方阻差异大）
措施：
①通知设备调整温区升温功率，并做温区自整定
5、单片方阻不均匀
原因：
①石英舟污染
②原材料电阻率不均匀
③石英舟舟凳在炉管内偏斜
措施：
①更换新石英舟，污染石英舟排入计划清洗
②反馈供应商
③一般为桨偏斜造成，通知设备调整桨对中性
6、背面滚轮印
原因：
①停机时间较长，药液挥发多
②制绒槽和碱槽滚轮脏
措施：
①手动补HF和HNO3
②清洗滚轮
7、相邻炉管同时电阻偏大或是偏小
原因：
①恒温槽出现问题
措施：
①检查恒温槽温度是否异常，如有异常及时通知设备人员
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1、方阻整体偏高
原因：
①扩散温度偏低
②源量不够，不能足够掺杂
③源温较低于设置20度
④石英管饱和不够
⑤小氮流量设置偏低
⑥磷源液位不足
⑦工艺错误
⑧单向阀出现问题
⑨流量计异常
措施：
①升高扩散温度
②加大源量
③调整源温至20度，或通知设备维修
④查找饱和历史记录，根据具体情况重新加饱和石英管
⑤增大小氮流量
⑥更换磷源
⑦检查运行工艺是否正确，已经各工艺步时间是否正确
⑧检查单项阀是否异常，如有异常及时通知设备人员，并且停止生产
⑨通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
2、方阻整体偏低
原因：
①扩散温度偏高
②源温较高于20度
③小氮流量设置偏大
④更换磷源未降低温度
⑤流量计异常
措施：
①降低扩散温度
②调整源温至20度
③降低小氮流量
④降低工艺温度
⑤通知设备处理（一般为初始化流量计---校准流量计--更换流量计）
3、扩散不到
原因：
①炉门没关紧
②尾气管抽风过大
③小氮流量过低，不能将磷源携带到管口部位
④磷源过少或用完
措施：
①通知设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合
②调整尾气抽风阀门，并调整平衡压力
③增大小氮流量
④更换磷源
4、片与片之间不均匀
原因：
①温区间升温功率异常（表现为两个温区间的硅片片与片方阻差异大）
措施：
①通知设备调整温区升温功率，并做温区自整定
5、单片方阻不均匀
原因：
①石英舟污染
②原材料电阻率不均匀
③石英舟舟凳在炉管内偏斜
措施：
①更换新石英舟，污染石英舟排入计划清洗
②反馈供应商
③一般为桨偏斜造成，通知设备调整桨对中性
6、背面滚轮印
原因：
①停机时间较长，药液挥发多
②制绒槽和碱槽滚轮脏
措施：
①手动补HF和HNO3
②清洗滚轮
7、相邻炉管同时电阻偏大或是偏小
原因：
①恒温槽出现问题
措施：
①检查恒温槽温度是否异常，如有异常及时通知设备人员
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