扩散制结设备—晶体硅太阳电池制造设备

       1.实物及结构
       扩散制结设备主要由控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、起源部分4大部分组成。整机由计算机控制，各部分软、硬件连锁，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行，自动化程度高、操作简便、可靠性高。
       2.设备的维护与保养
       扩散制结设备日常维护和保养包括以下几方面：
     （1)设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。
     （2）炉体保温方面，在隔一天以上的工艺之间，最好设定500~600℃保温，这样可延长加热器的使用寿命。
     （3）恒温区的校准周期方面，炉子恒温去调好后，一般不是频繁连续工艺，可3个月校准一次，连续工艺要求1个月校准一次，关键工艺前必须先进行检查。
     （4）设备长期不用时，每隔一星期应通电运行一次，防止器件受潮失效。
     （5）更换已损坏的元器件时，应尽量采用规格、型号相同的器件。温控等关键器件不得采用代替品。
     （6）石英炉门与浆的接触部分要定期进行清洗，防止由于工艺残留物堆积使得滑块不畅造成石英炉门损坏。
     （7）超温保护要求每天进行工艺前试验一次，以确保超温保护系统的可靠运行。