薄膜测试目的及可选择的测试仪

测试目的，薄膜测试： 太阳能电池是将光能转换为电能，所以要尽可能设计合理的表面结构将光尽可能的陷在电池内而不是反射出去，而硅本身又是一种亮灰色的材料，反光率高于30%。为提高太阳能电池的转换效率，在表面制作减反膜（AR coating）以提高电池对光的吸收。因此制备合适厚度和折射率的减反膜可以提高吸收效率。
椭偏仪： 1)单波长激光椭偏仪可测量硅片表面介质膜的厚度、折射率等光学参数。2)光谱椭偏仪用于单层、多层膜及薄膜电池研发,可实现宽光谱范围，变角度测量。3)光谱反射式膜厚仪可测量制绒前后反射率的变化，以及薄膜电池多层膜的测量，测量结果还包括膜厚及折射率。4)光谱范围最宽的从深紫外到近红外光谱型椭偏仪；