本资料列出了2013年半导体行业用材料如以下材料的标准制定、讨论会议安排。

锗粒

羧乙基锗倍半氧化物

Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

Ⅲ族氮化物外延片晶格参数测试方法

氮化物LED外延片内量子效率测试方法

蓝宝石单晶晶锭

蓝宝石晶锭应力测试方法

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算方法

电子级多晶硅

太阳能级方片微裂纹缺陷的测试方法

太阳能级方片外观缺陷测试方法

太阳能级方片外观尺寸测试方法

太阳能级方片电阻率测试方法

太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光测试方法

硅单晶

硅的仪器中子活化分析测试方法

硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

硅片订货单格式输入规范

硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法

蓝宝石单晶位错密度测量方法

碳化硅单晶片平整度测试方法

羧乙基锗倍半氧化物化学分析方法

太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光测试方法

硅粉中总碳含量的测定  感应炉内燃烧后红外吸收法

蓝宝石衬底用高纯氧化铝

蓝宝石单晶晶向测定方法

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2013-6-28 16:02 上传

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