HIT也称内禀薄层异质结太阳电池，这种太阳电池是在单晶硅片上堆积非晶硅薄制成的混合型硅太阳电池，是日本三洋电机公司开发的不同于一般单晶硅太阳电池的一种特殊太阳电池。因其转换效率高，近年来受到人们的关注。HIT太阳电池其结构为：用PECVD方法在N型单晶硅片的表面沉寂很薄的I型和P型非晶硅层，同样在背面也沉积很薄的I型和N型非晶硅层，然后在两面镀上透明电薄膜，再镀上梳齿状电极。同单晶硅太阳电池制作工艺中需要约900℃高温相比，HIT太阳电池的制作只在200℃以下的低温条件下进行，因此，制作工艺中产生的热应力小，容易薄型化。

       HIT太阳电池和普通的单晶硅太阳电池相比，最大的特点是：在高温环境下电池性能的下降率小。因为太阳电池在室外使用，夏季高温季节其温度可能高达40℃以上，高温下电池性能下降率小就意味着其发电量增高，在实际应用中是非常有利的。面积为100平方厘米的HIT太阳电池的最高转换效率达到23%，量产组件的转换效率也高达17.4%。因为在晶体硅的表面插入很薄的I型非晶硅层，使表面的再结合效率降低，使电池的开路电压大幅度提高。同时，在单晶硅表面形成的无序的绒面结构可降低光的反射，提高光的吸收效果，通过这些技术的完美结合实现了高转换效率。此外，因其两面都是透明导电膜和梳齿状电极，在其背面也可以利用漫反射的光发电。这样，在室外通过调节组件的设置角度可以大幅度地提高发电量。HIT太阳电池今后的研究课题主要是更进一步提高转换效率和有效降低成本生产。