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硅单晶生产和硅片准备

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-11 17:30| 查看数: 1598| 评论数: 0

文中首先说明原材料如何经过处理而得到电子级多晶硅。然后探讨从中用来生产单晶硅的Czochralski法和浮区法，其中涉及到从单晶硅做成硅片的技术；最后我们讨论下为了适应VLSL（和ULSI）生产，硅片所必须具有的材料特性。

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