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GBT+4061-1983　硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-14 22:43| 查看数: 1640| 评论数: 0

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

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