多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器,对测量薄膜厚度,折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜,多层膜和大块材料(基底)
• 超高精度和稳定性,来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器
• 高精度样品校准,使用光学自动对准镜和显微镜
• 快速简易测量,可选择不同的应用模型和入射角度
• 多角度测量,可完全支持复杂应用和精确厚度
• 全面的预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
规格:
• 激光波长632.8 nm
• 150 mm (z-tilt) 载物台
• 入射角度可调,步进5º
• 自动对准镜/显微镜,用于样品校准
• Small footprint
• 以太网接口连接到PC
SE 400advanced软件特征:
• 预先定义应用
• 多角度测量
• 广泛的材料数据库
• 拟合状况的图形反馈
• 支持多种语言
SE400advanced被设计用来将椭偏仪的测量能力发挥到极限,高稳定相位补偿器,电脑控制稳定频率旋转分析器 ,自动调整起偏器,The core concept of the SE400advanced with highly phase stabilized compensator, computer controlled frequency stabilized rotating analyzer and automated polarizer optimum positioning allows for the measurement of ultra thin films and surface roughness on almost any kind of absorbing or transparent substrate with a flat, mirror - like surface.
ψ, Δ精度, 90° 入射角:
δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
长时稳定性2):
δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°
膜厚精度1)
0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si
折射率精度1)
5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si
1) 精度定义为30次测量的标准差
2) 长时稳定性定义为24小时内90°位置测量的偏差
选项
•微细光斑选项,光斑直径30微米
•手动x-y方向移动载物台,行程150 mm
•地貌图 选项 (x-y方向, 最大行程200 mm, 带有真空吸附)
•摄象头选项,用于取代目镜进行样品对准
•液体膜测量单元
•自动对焦选项,同地貌图选项结合
•反射式膜厚仪FTPadvanced,光斑直径80微米
•双波长激光 (405 nm 或1550 nm)
•SIMULATION软件
•针对粗糙表面硅太阳能电池的测量装置
SENTECH椭偏仪SE400测光伏电池片
品牌 SENTECH 型号 SE400
化学类型 测光伏电池片 结构类型 其他
使用状态 其他 输出功率 200(W)
工作电压 220(V) 转化效率 99(%)
填充因子 99(%) 工作电流 标准(A)
并联电阻 标准(欧姆) 串联电阻 标准(欧姆)
开路电压 标准(V) 短路电流 标准(A)
外形尺寸 标准 参考重量 10(kg)
产品认证 CCC 用途 测光伏电池片
德国SENTECH Instruments致力于发展薄膜测量技术(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)和等离子加工技术(等离子刻蚀、沉积系统,定制解决方案),专业研发、制造、销售相关仪器和设备。
典型型号:SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....
激光椭偏仪
SE 400adv , SE 500adv -激光椭偏仪,多角度入射,先进的硬件和软件能够对薄膜厚度和光学常数进行最精确的测量,可分析单层膜和多层膜。
具体型号及技术要求欢迎来电咨询。
品牌 SENTECH 型号 SE400
化学类型 测光伏电池片 结构类型 其他
使用状态 其他 输出功率 200(W)
工作电压 220(V) 转化效率 99(%)
填充因子 99(%) 工作电流 标准(A)
并联电阻 标准(欧姆) 串联电阻 标准(欧姆)
开路电压 标准(V) 短路电流 标准(A)
外形尺寸 标准 参考重量 10(kg)
产品认证 CCC 用途 测光伏电池片
德国SENTECH Instruments致力于发展薄膜测量技术(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)和等离子加工技术(等离子刻蚀、沉积系统,定制解决方案),专业研发、制造、销售相关仪器和设备。
典型型号:SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....
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