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管式PECVD流量对光伏电池氮化硅膜工艺影响研究

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-1 11:41| 查看数: 1645| 评论数: 0

文中针对目前国内光伏行业在使用管式PECVD沉积氮化硅减反射膜时，为了实现均匀性而随意调整工艺气体流量的问题作出实验性分析，试图找出工艺过程中电池转换效率下降的原因。通过改变工艺气体的流量，对各项技术指标进行测试分析，结合国内外的一些文献，得出了工艺气体流量对氮化硅膜的直接影响，同时也直接导致了电池转换效率的变化。通过这些研究，为制备高性能电池减反射膜提供实验基础，为我国光伏电池转换效率的进一步提高寻找一种途径。

管式PECVD流量对光伏电池氮化硅膜影响的工艺研究.zip 立即下载 (540.13 KB, 下载次数: 16)

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