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多晶硅制作工艺—改良西门子法

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-10 16:31| 查看数: 1669| 评论数: 0

多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而成，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。

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