(8)刮胶。粘接后在硅块与玻璃接触面会挤出很多胶,该胶的存在会影响切割,应该在胶固化前,需要将其除掉。刮胶时间为在去掉重物之后,如果间隔时间太长胶体彻底固化后不易铲除。刮表面的胶时,用导向条成10º-30º角平行移动,导向条直角方向面向玻璃。另外,在硅块的侧面,托盘处也可能会有胶粘污,需要擦拭干净。
(9)粘接导向条。粘接硅块30min后取下重物,在硅块上表面的两侧分别粘接两条木纹胶带,使两条胶带间的距离等于导向条的宽度,在胶带间隙中涂抹制备好的导向条用胶,然后粘上导向条。
(10)固化。粘接好的硅块需要固化4小时以上才能传入线锯工序切割。
在晶棒粘接过程中,影响胶面崩边的因素有:
(1)磨砂玻璃表面磨砂不均匀,影响表面平整度,进而影响硅块粘接效果,造成崩边。
(2)粘接硅块的胶水的粘接强度和硬度不符合要求,当钢线经过硅块粘接面时,受应力作用产生胶面崩边。一般地,胶水固化后的硬度与硅块本身硬度接近时,有利于粘接效果。
(3)粘块胶水混合不均匀,影响了粘接强度;或是一次性配备较多胶水,导致在粘接硅块前胶水硬化,粘接硅块后胶水流动性变差,胶水分布不均匀,粘接效果差。
(4)刮胶不均匀,胶水厚度分布不均,出现分层现象,切割至出刀位置时会造成胶面崩边,严重时会出现硅片断裂掉片的情况。
(5)粘接硅块后,胶水产生气泡,气泡没有积压出来,则会导致胶面崩边。
(6)刮胶不干净。由于粘接硅块后会有胶从硅块两侧溢出,残留在硅块两侧露出的倒角部位,如果此残留胶水擦不干净,则在切割至出刀时,由于切割产生的热量使得较差软化,影响钢线携砂量,造成出刀线弓大,切割能力不足,产生胶面崩边。
(7)胶层厚度。切割过程中产生的瞬间高温会使胶层软化,降低钢线携砂能力,增大出刀线弓和出刀边缘锯痕,而边缘锯痕的摩擦作用会产生胶面崩边,因此胶层越薄越有利于减少胶面崩边的产生。
(8)粘接室温湿度影响。由于温湿度会影响胶水的硬化和固化时间,进而影响胶水粘接效果,因此必须采取措施保证粘接室环境温湿度。
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