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我们也测试对比了强弱光下氧化铝叠层膜PERC电池和氧化硅层膜PERC电池的IQE性能(如图4),图4显示在1个太阳的光强下,氧化铝叠层膜PERC电池和氧化硅叠层膜PERC电池在长波的IQE均优于常规铝背场电池,但是0.1个太阳光强下氧化硅PERC电池的长波IQE下降显著,表明背面钝化薄膜氧化硅叠层膜在弱光下的钝化性能急剧下降,这和1999年新南威尔士大学的发现是一致的。另一方面氧化铝叠层膜PERC电池和常规铝背场电池在弱光下依然表现出和强光相同的IQE性能。这些数据充分说明了氧化铝叠层膜更适合作为量产PERC电池的背面钝化膜。 另一关键工艺则是背面局部接触的实现,目前主要采用的方式有背面钝化膜的局部激光开孔和腐蚀浆料开孔,开孔后在背面钝化膜上印刷铝浆,铝浆通过上述开孔与硅材料实现局部接触。我们同样对比了两种薄膜开孔方式--激光开孔和腐蚀浆料开孔的特点。图5和图6分别给出了腐蚀浆料开孔和纳秒激光开孔的显微镜图像,从图像中我们可以清楚地看到两种方式都可以将氧化铝叠层膜完全打开,不会留下残留物。表1给出了两种开孔方式做成的 |