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颜色编码厚度测量法(CTM)是一种用来测量透明材料厚度的非接触式测量法,可以同时测量两层膜层厚度。CTM的主要优点在于受膜层的粗糙度和非均匀性的影响比较小,而且能测量曲面镀膜的厚度。对于50UM以内的膜厚,测量精度可达0.1nm。 首先,镜头对入射光进行聚焦,光谱仪接受样品反射回来得广播。通过软件上的反射光谱我们可以看出,在膜层表面聚焦后返回的广播会形成峰值,这里就反映出了膜层的上下层与镜头之间的距离信息;
然后,通过软件数学模型计算,自动得出膜层的厚度。因为不同波段的光会呈现出不同的颜色,因此该法命名为颜色编码厚度测量法(CTM)。高级软件通过便捷的USB接口与Windows平台连接,设备安装仅需几分钟。
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