多晶硅薄膜太阳能电池是兼具晶体硅太阳能电池的高光电转换效率、稳定长寿和非晶硅太阳能电池的材料制备工艺简单、成本低、并且无污染、可大面积生长等优点于一身的新一代太阳能电池，具有广阔的发展前景，已成为目前世界上光伏领域最活跃的研究方向。迄今为上，还未定论哪种衬底最适合硅薄膜太pn电池，人们期待研究工作获得突破，找出更适合薄膜太阳电池的衬底材料。我们相信在不久的将来，多晶硅薄膜太阳电池将会很快实现产业化，在光伏领域占据一席之地。。

       多晶硅薄膜的晶粒尺寸、晶粒形态、晶粒晶界、膜厚以及基体中有害杂质的含量及分布方式严重地影响着太阳光的吸收率和载流子的复合率,从而影响着光电转化效率,这也是多晶硅薄膜太阳能电池的性能仍落后于晶体硅太阳电池的主要原因。 目前,几乎所有制备晶体硅高效太阳能电池的技术均已用在制备多晶硅薄膜太阳能电池的工艺上,甚至还包括一些制备集成电路的方法和工艺,如制造绒面、减反射膜和高反射背电极来增加太阳光的透过率;衬底与薄膜材料之间增加一介质层以阻挡衬底杂质向硅薄膜材料的扩散以及绝缘;在多晶硅薄膜太阳能电池的研制中,通常将硅材料暴露于氢等离子体中钝化以防止其氧化;丝网印刷技术制备细金属栅电极;表面和体钝化以降低薄膜晶粒晶界和晶格错位缺陷等等。

       随着科技的发展与提高,通过改变实验方法和实验参数来获得大颗粒、取向规则、低杂质、低空隙率、少晶粒晶界、均匀且厚度可控的高质量多晶硅薄膜,从而进一步提高多晶硅薄膜太阳能电池光电转化效率,并进一步降低其生产成本,使得多晶硅薄膜太阳能电池的发电能力及成本能够与常规能源相竞争,进而取代之。