| 2.实验分析及结果讨论 2.1不同功率电池QE的区别 使用QEX10对不同功率电池的局部反射率、EQE、IQE分别进行测量，结果如图2、3、4所示。 从图2中，可以看出，虽然电池的功率略有不同，但是表面的反射率趋势基本相同，两条曲线几乎重合，说明电池表面的减反射性能可以认为是相同的，换言之就是表面织构化和等离子化学气相沉积减反膜层的叠加效果很类似；正如前文所述，图3的EQE趋势也恰恰说明了这一点，因为EQE主要受物理反射的影响。
图2不同功率电池的表面反射率趋势
图3不同功率电池的EQE趋势
从图4的IQE趋势可以看出，高功率电池的IQE在340-470nm范围明显高于低功率电池，而两者在反射率和EQE上都没有明显区别，所以可以说明，两者的差异正是由于硅片本身的品质与电池环节的相关工艺匹配的最终效果的差异，可能是扩散的结深、均匀性，或者是表面、基体钝化效果的优劣。从这些方向入手，结合其他的参数测量和全面扫描技术，可以进一步缩小或确定差异的根源，进而有针对性的改进工艺路线。
图4不同功率电池的IQE趋势
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