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圆棒检验标准 1. 有效长度:精确到毫米; 2. 直径范围:在考虑公司利益的情况下直径尽量小些,但不可以低于 3. 电阻率:0.5~1Ω/cm、1~3Ω/cm、3~6Ω/cm; 4. 型号:P型掺硼; 5. 少子寿命≥10μs; 6. 晶向:<100>±3° 7. 氧含量:≤1×1018atoms/cm3; 8. 碳含量:≤5×1016 atoms/cm3; 9. 径向电阻率变化:<25%; 10. 位错密度<3000 atoms/cm3 11. 重量精确到 12. 崩边:1)崩边不能在晶线上,应在晶线 13. 晶线:晶线上不能有断线。 方棒检测标准 1、A面A1、A2、A3、A4=125±
│A1-A3│、│A2-A4│≤ │B1-B3│、│B2-B4│≤ │A1-B1│、│A2-B2│≤ 2、对角:150± A面两对角为D1、D2,B面为D3、D4;D1、D3呈平行状态,D2、D4呈平行状态; │D1-D2│、│D3-D4│≤ │D1-D3│、│D2-D4│≤ 3、电阻率:0.5~3Ω/cm、3~6Ω/cm; 4、型号:P型掺硼; 5、少子寿命≥10μs; 6、晶向:<100>±3°; 7、氧含量:≤1×1018atoms/cm3; 8、碳含量:≤5×1016 atoms/cm3; 9、径向电阻率变化:<25%; 10、位错密度<3000 atoms/cm3; |