PECVD石墨舟清洗及使用维护
新舟的接收检查：
打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟是否完整；外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂；组件有无缺失。发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。
石墨舟的清洗：
1.新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸（体积比10%）溶液进行清洗约3-5小时；再用去离子水进行漂洗8-12小时；直到确认舟体没有酸性成分。可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。
2.使用后的石墨舟的清洗：上海弘竣的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三个轮次来清洗，每次4-5小时；并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的冲洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟体已经彻底清洗干净。请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项：
A） 由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
B） 建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗，这样能将各个接触部位清洗得更彻底。目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
石墨舟的烘干:
1. 建议使用有定时功能和循环排风的烘箱，这样烘烤的水蒸汽可直接被抽调，以避免水蒸汽因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2. 清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘箱，请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
3. 将烘箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
PECVD石墨舟清洗及使用维护
舟的预处理（饱和）：
进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。建议不要在空舟状态进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。
石墨舟的维护：
本文由上海弘竣实业有限公司提供。
上海弘竣实业有限公司提供各类标准型石墨舟和其它任何非标石墨舟：
156-13片石墨舟，载硅片数量144片/125-15片石墨舟，载硅片数量196片
156-19片石墨舟，载硅片数量216片/125-19片石墨舟，载硅片数量252片
156-21片石墨舟，载硅片数量240片/125-21片石墨舟，载硅片数量280片
156-23片石墨舟，载硅片数量308片 |
