1月14日，从SEMI中国光伏标准委员会传来好消息，48所承担的一项SEMI标准《用于卧式扩散炉恒温区在线检测方法》，以30票赞成0票反对的结果顺利通过2013年第8轮全球投票。本轮全球投票国内外其他知名光伏企业也提交了多项标准参与投票，而此次48所提交的SEMI标准是唯一的光伏装备标准。
标准规定了各种类型扩散炉下列项目的测试方法：升温时间，升温功率，恒温区长度及恒温精度，单点稳定性，恒温功率，恒温区稳定性，开机重复性，电网电压波动影响，推舟恢复时间，多管炉层间影响。
扩散炉是半导体制造业中对硅片进行热生长氧化的一种重要设备。在高温氧化扩散炉体内硅片与外部供给的高纯氧气反应，使硅片上生成一层热生长氧化层。这层氧化层的质量、稳定性和介质特性等性能对MOS工艺中的栅结构至关重要。温度是影响氧化层特性的关键工艺参数，影响氧化层生长速度、均匀性等特性。氧化工艺要求硅片上各个区间与各个Si片都处于一致均匀、稳定的温度场中，系统对炉膛恒温区间的温度一致性、稳定性要求极高，并且为了使各个Si片特性一致，在不同工艺温度之间的变化过程中，要求所有Si片所处温度尽量一致变化。
SEMI标准作为一项国际标准在全球半导体标准中占有着重要的地位。欧洲、北美、日本等国家和地区先后成立了SEMI标准委员会，SEMI中国光伏标准委员会虽然成立较晚，但在SEMI标准中发挥着越来越重要的作用。此次48所承担的《用于卧式扩散炉恒温区在线检测方法》作为唯一的光伏装备标准顺利通过全球投票，充分体现了我国在国际光伏装备领域中的实力。全球投票的通过标志该标准向最终的实施发布迈出了关键的一步，标准将在今年3月份的SEMI中国光伏标准委员会春季会上提交给SEMI总部审核，有望在年内发布实施。 |
