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6月13日,在河北保定召开的SEMI PV China夏季会议上,由中国电科48所牵头制订的SEMI标准《Test Method for In-line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnace》(《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》)正式颁布实施,标准编号为:SEMI PV53-0514。该标准的发布,标志着48所扩散炉技术得到了国际同行的认可,加入制订国际标准行列。 在2012年SEMI PV China夏季会议上,48所向SEMI PV China核心委员会申请成立PV Diffusion Furnace Test Methods TF(扩散炉测试工作小组),负责编写《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》标准,经与会专家的认真审议,同意由48所牵头联合十几家国内外知名光伏企业共同编写该标准。在近两年的编写过程中,工作组成员从各个方面认真讨论标准内容,仔细核对每一个技术细节,多次修订和完善标准。2014年1月,该标准以全票通过、零票反对的优异成绩一次性通过全球投票,并于5月正式向全球发布。 SEMI (国际半导体设备材料产业协会) 是全球性的产业协会,在国际上具有很大的影响力。此次由48所主导的SEMI标准能够成功发布实施,展现了我国光伏装备技术实力,同时也提高了48所在国际光伏装备行业中影响力。48所将再接再厉,总结成功经验,牵头制订更多的SEMI标准,实现“国内卓越,国际一流”的发展目标。 |