2014年9月8日，中秋节午夜23：58分，江苏中强光伏科技有限公司的操作人员在给上海普罗生产的RDS4.0一炉四锭铸锭炉装料。

      多晶硅铸锭炉在开炉前必须要进行炉前检查。由于一旦开始抽真空和加热，尤其是当硅料熔化后，基本上真空熔炼过程就不可逆转，因此，进行炉前检查就是特别必要的，甚至比开炉后的操作还要重要。

 

      炉前检查的目的是发现炉内存在的安全隐患和事故苗头，并在开始工艺前将之解决。炉前检查的内容可以分为以下几个部分：

      主要检查冷却水路是否正常。从冷却水塔开始，到纯净水供给，到水泵、水阀，水压力和水流量表，都要一一检查。由于一旦冷却水路出现问题，会使炉温升高甚至熔化，水电缆的水温过高可能会导致水电缆爆裂，水进入炉内甚至硅液而引起爆炸，因此，水路检查绝对不可疏忽。必须按照炉前检查表格，逐一检查。水路各元件检查过后，要进行通水试验，看看各冷却水路的进水和出水压力及流量是否正常，如果发现不正常，一定要再进行检查。

      加热供电系统包括外部电源、开关、控制箱、功率控制器、变压器等等，也要检查水电缆的情况。此外，炉内外连接的电极、电缆与石墨件的连接电极要特别注意。由于供电系统一旦出现断路或短路，将导致加热无法进行，或者在加热时产生拉弧造成电流不稳定，或者电流时有时无，或者在高温时电流完全中断，以及三相电流不平衡等等现象，这些现象轻者会导致温场不均匀，重者会导致工艺完全中断，因此，一定要认真检查。检查炉内电路时，还要注意水电缆外面的绝热层（通常用硅酸盐玻璃布）是否完好，有无松脱现象，如果有一定要更换或包扎紧密。

      炉体包括上下炉盖和炉身，主要是各焊缝是否有渗水现象，以及炉壁是否清洁。此外，要检查炉内是否有外物，如工具、鞋套或者擦布等。炉壁的清洁十分重要，如果炉壁有脏物，不仅影响热效率，更重要的是，由于这些粉尘脏物容易吸附大气以及水气，这会给抽真空带来很大的负担。此外，炉壁的脏物还会污染硅料，导致硅料提纯的失败。炉体的各个法兰由于在反复经历高温和低温时，会产生变形，这些变形可能会导致密封性差，产生漏气等问题，因此，要检查法兰口是否是保持在一个平面上，另外，还要检查法兰口的密封圈的情况，是否硬化或变形，或者是否有裂口。密封圈的裂口会导致抽真空时漏气。

      炉内的石磨加热件是完成整个炉子加热的发热体，也是热场的重要组成部分。其完好与否直接影响着炉子是否正常工作。加热体由石磨电极、石墨加热棒、加热棒连接件等几部分组成。石墨件属于耗材，在经过一定时间的使用后要更换。新的石磨件安装时，要注意连接不能过松或者过紧，过松时会导致接触不良，甚至在使用中脱落。而过紧则会导致在高温下，或者温度变化时，石墨件因为热应力而断裂。每个石墨件都有一定的规格和尺寸，使用一段时间后，因为硅蒸汽或者氧化的缘故，石墨棒会变细，如果石墨棒小于一定的尺寸就不能再继续使用了。

      由于硅料熔化后所产生的硅蒸汽会与石墨件反应形成碳化硅，因此，石墨表面常常会产生一层绿色的表层，有时会脱落，有时会紧贴在石墨表面。对于高密度石磨，可能反应较小，但此时，石墨连接件出的螺纹的缝隙处，蒸汽会渗入，有时还会有硅液溅入，当冷却时，硅液凝固产生膨胀，很容易导致石墨件断裂。因此，在所有的缝隙处，最好采用石墨泥将之封口，这样能够使石墨件的寿命大大延长。