SoLayTec近日宣布某中国一线光伏电池制造商已经预订一台InPassion原子层沉积（ALD）设备，生产用于光伏组件的工业型钝化发射极背面接触（PERC）单晶硅太阳能电池。 此前，该公司已经购置过InPassion实验室设备用于研发。 SoLayTec所推出的InPassion ALD可在沉积层厚度和产量方面实现较大的灵活性。氧化铝ALD质量及硅片间厚度差据称小于4%，并且环绕边宽小于1mm。InPassion ALD主要应用在p型和n型电池的前后表面氧化铝沉积工艺中。 同时SoLayTec介绍，他们的客户使用RENA-SoLayTec设备制备的三氧化二铝（Al2O3）钝化研发的p型硅片转换效率超过20％。制造商期望最终能过渡到大规模生产PERC光伏晶硅电池。 |
